J. Z. Young, M. Minky等人早在50年代首先提出了共焦掃描光學顯微鏡的思想.隨后70年代P. Davidovitst'1,^.F. SlombaE'）等人進一步研究共焦掃描光學顯微鏡的原理，使其在實際中得以應用.80年代，越來越多的人從事這方面的研究，使之成為研究半導體材料和生物樣品的重要工具.

    共焦掃描光學顯微鏡的主要思想是共焦，所謂共焦就是指物鏡和目鏡的焦點重合于一點，物鏡和目鏡的焦平面重合于樣品被探測平面.把光聚焦于一點照射在樣品上，同時用“點”探測器來探測樣品的反射光，并進行信息處理而給樣品上這一點成像.‘激光照射的焦點在樣品上掃描，“點”探測器進行同步記錄，這樣可以得到整個樣品的成像.

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奧林巴斯顯微鏡

    當樣品表面某點正好處于物鏡焦點時，探測器測得zui大反射光強;反之，則測得較小反射光強.從而給出樣品縱向結構信息.

    這種顯微鏡一個突出的特點是排除了非焦點的結構對成像的影響.在一般光學顯微鏡下成像，焦點_h和焦點外信息都被探測器接收，然后數字化輸人計算機完成顯微鏡成像，因而需要大量的計算來排除焦點外信息對焦點上成像的影響.當明亮的焦點外區域與陰暗的焦點上區域重疊時，會產生非常嚴重的測量誤差問題，而且要確切地知道物鏡的光轉換函數也是難于做到的二用共焦掃描光學顯微鏡可以很好地解決這些問題.可以看出:首先，樣品處于顯微鏡的焦平面上，所以激光照射在樣品非焦點上的光強很弱;其次，在探測器前放置一個特殊的光闌，而光闌孔正好處于聚光透鏡的焦點上，這樣來自于樣品上非焦點處的t被光闌擋住，從而可以得到高質量的成像。

    利用這種技術對生物樣品的研究取得了良好的效果.從以下一些實驗結果可以明顯地比較出共焦掃描光學顯微鏡*于一般顯微鏡.

    搖蚊多線染色體在原位的熒光成像.可以看出:共焦成像給出了更多的信息，明暗對比度高，成像更加清晰。

    在對一系列生物樣品進行實驗后，我們可以得出下面的結論:共焦技術確實比常規顯微鏡成像效果有很大改進.它對較厚樣品成像效果上的改進更為顯著。

    該項技術空間分辨率為0.5pm。由于它排除了焦平面外信息的干擾，可以進行逐層層析，所以該項技術還能在三維方向成像，從而顯示出樣品的三維結構.它在生物醫學及半導體工業方面受到普遍歡迎.

    這一顯微技術在實際中應用也還存在一些困難.例如，實現照明系統與探測系統的同步移動是困難的;再如，分辨率直接與光闌孔徑大小相，要提高分辨率就要縮小孔徑，這就使分辨率的提高受到限制，所以這一技術有待進一步發展。